作為電子廠(chǎng)房的裝修工程設(shè)計(jì)的先導(dǎo)步驟，工藝設(shè)計(jì)需要在滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進(jìn)行無(wú)塵室廠(chǎng)房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局，合理確定各種公用動(dòng)力設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資少;同時(shí)，還需要合理進(jìn)行人流路線(xiàn)、物料運(yùn)輸和倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施的配置和布置，滿(mǎn)足電子產(chǎn)品無(wú)塵室廠(chǎng)房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求；此外，還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動(dòng)化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣?dòng)化水平，在經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。

　　生產(chǎn)設(shè)備的平面布局也是電子無(wú)塵室廠(chǎng)房的裝修工程工藝設(shè)計(jì)的重要內(nèi)容。電子無(wú)塵廠(chǎng)房形式一般有隧道式(或稱(chēng)港灣式)、開(kāi)放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無(wú)塵室廠(chǎng)房的裝修工程一般采用隧道式和開(kāi)放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠(chǎng)，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格，而設(shè)備維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)相對(duì)較低。